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空气分离中高纯氩的提取方法研究及应用

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
①课题来源与背景
在电子工业中，高纯氩应用于半导体器件的生产中。超纯半导体的单晶体材料形成中，如硅和锗生产过程，使用高纯氩和高纯氦作为保护气又作为传热介质，为保证极高品质纯度，一般需要99.999%～99.99999%的氩。在半导体器件中用来生产N结合P结。
全精馏制氩是目前较为主流的制氩方式，新制造的设备都采用了该项技术。全精馏制氩就是在空...
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