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金属有机物化学气相沉积设备及用于其中的隔离装置

2013年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种用于MOCVD设备的隔离装置，该隔离装置包含：第一隔离部分和第二隔离部分；第一隔离部分包含：第一环形挡板，与第一环形挡板相连接的支撑部，以及与支撑部相连接的若干个连杆；第二隔离部分包含第二环形挡板，第一隔离部分和第二隔离部分相结合时，第一环形挡板围绕第二环形挡板，第二环形挡板和支撑部相接触。采用这种分体式结构，既能满足快速升降温的需求，又能满足降低热能损耗的需求。...
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