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一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备

2013年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备，该装置包含进气部分、和进气部分相连的主体部分、以及和主体部分相连的排气部分；进气部分内设有进气通道，主体部分内设有主体通道，排气部分内设有排气通道；主体通道分别与进气通道、排气通道相连通，以使气体进入进气通道后经过主体通道再由排气通道排出；主体通道内设有一组第一挡板和一组第二挡板，第一挡板和第二挡板相对设置。金属有机化学气相沉积设备包含...
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