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大尺寸电子级蓝宝石晶体的研究

2013年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目目标产品为大尺寸电子级蓝宝石晶体，该产品利用自主研发的大尺寸蓝宝石晶体生长设备和顶部籽晶温度梯度（TSTGT）技术生长而得。蓝宝石（单晶Al2O3）C面与Ⅲ-Ⅴ族沉积薄膜之间的晶格常数匹配度好，同时符合GaN外延制程中耐高温的要求，使得蓝宝石衬底成为制作白/蓝/绿光LED的关键首选材料。
本项目融合热交换法、提拉法、泡生法、温度梯度法的优点，自主开发出顶部籽晶温度...

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