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高纯氧提取装置的改造研究

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一、立项依据及国内外技术背景
（一）立项依据
　　高纯氧是一种工业用高端产品，用途广泛，可用于二氧化硅的化学气相沉积，作为氧化源用于产生高纯水的反应剂，干法氧化，与四氟化碳混合、用于等离子刻蚀等。
　　目前，国内已有许多企业在从事高纯氧的制备，如北京华宇辰气体有限公司、深圳市圳宽工业气体有限公司、南京特种气体厂有限公司、东莞市高能工业气体有限公司...
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