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大气压力传感器

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目产品采用MEMS技术方案，即微电子机电系统，是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。项目重点围绕采用高温区、高精度、高稳定性的MEMS芯片，利用金线绑定、全自动真空灌胶封装以及平邦等技术将压力传感器芯片绑定在模块内部，通过模块化工艺设计实现批量化生产，从而在技术上真正掌握其生产制造工艺，产品性能达到国际先进水平。...
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