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太阳能级P型低氧硅单晶

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  1、关键技术及创新点
  a、采用高纯多晶硅原料及原料处理技术
  b、使用高纯涂层石英坩埚,最大限度阻隔氧元素的析出渗入熔硅中反应产生新的杂质
  c、在高纯氩气和高规格热场环境下生长硅单晶
  d、采用碱腐工艺去除单晶表面损伤层
  e、P型硅单晶控氧技术
  f、P型硅单晶高寿命生产技术
  g、P型硅单...
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