化工
化学化工
基于离子束技术的电阻应变计制作方法
成果概况
| 成果类别： | 应用技术 | 体现形式： | 新技术 | 课题来源： | 自选课题 |
| 起止时间： | 2007.01 至2008.01 | 研究形式： | 独立研究 | 所处阶段： | 初期阶段 |
| 成果属性： | 原始性创新 |
成果简介
本发明涉及一种基于离子束技术的电阻应变计制作方法，采用直流等离子体溅射技术和等离子刻蚀技术，在高温硅橡胶基片表面涂敷聚酰亚胺酸胶液，热固化形成聚酰亚胺柔性基底，然后剥离后固化得到所需应变特性要求的柔性基底膜，在柔性基底聚酰亚胺表面溅镀电阻合金膜，最后再通过光刻和刻蚀工艺制备成电阻应变计，具有工艺简单、成品率高、电阻合金膜成分可控、合金组分可按需求调配、图形分辨率高、所制材料性能优良等优点。
应用前景
| 主要应用行业： | 制造业 | 知识产权形式： | 专利 |
| 应用状态： | 产业化应用 | 拟转化方式： |
单位概况
| 完成单位： | 中国航天科技集团公司第四研究院第四十四研究所 | ||||
| 单位地址： | 陕西省西安市173信箱（西安市灞桥区洪庆镇田王街特字1号） | ||||
| 单位电话： | 029-83606672 |
联系方式
| 联系人： | 黎明诚 | 联系人电话： | 029-62831524 | 联系人Email： |