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清洁、节能的新型石英管脱羟炉

2009年

应用技术

成果简介

　　传统石英管脱羟炉均采用扩散泵、罗茨泵为主泵，存在如下缺点：能耗高。一台15m<'3>的脱羟炉的抽气能耗达45kW，年耗电达30万度；油蒸汽污染严重，影响产品质量；该项成果采用2台MB200B分子增压泵+1台2X-30旋片泵，取代2台ZJ-1200罗茨泵+4台2X-70旋片泵，达到以下功效；抽气能耗节省80%，年节电20万度；消除油蒸汽污染，提高产品的质量；1年节约的电费就能收回设备费用。应用领...

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