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清洁、节能的大型真空蒸发镀膜设备

2009年 应用技术
  • 成果简介
　　该项成果是世界上第一台无扩散泵、无罗茨泵、无油蒸汽污染、低能耗的大型真空蒸发镀膜设备。传统蒸发镀膜设备采用扩散泵和罗茨泵为主泵，存在如下缺点：能耗高，一台5m<'3>的蒸发镀膜设备，扩散泵和罗茨泵的总能耗达30kW，年耗电22万度；有油蒸汽污染，膜层色泽泛黄，结合力低；该项成果采用深圳大学原创性科技成果分子增压泵，与传统低温捕集器组合，取代蒸发镀膜设备的扩散泵和罗茨泵，达到：抽气能耗节省80%...
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