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无铅铁电薄膜及其器件的失效与性能调制

2011年 应用技术
  • 成果简介
　　铁电薄膜及其器件的失效问题是长期以来困扰其器件化应用的关键问题，针对该科学问题，课题组建立了无铅铁电薄膜及其器件失效研究的理论体系，揭示了界面问题是铁电薄膜及其器件失效的关键所在。在该基础上，通过对铁电薄膜及其器件的界面和结构进行主动调控，解决了无铅铁电材料及其器件的界面匹配问题，研制了保持性能可以达到10年以上的工业应用标准的无铅铁电场效应晶体管，为无铅铁电薄膜及其器件的产业化应用提供研究基...
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