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真空机械手

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目针对真空机械手研制过程中的技术难点，攻克了真空环境下材料加工与传动润滑技术、磁力传动密封技术、机器人高速平稳控制技术、碰撞检测与保护技术等共性关键技术，成功开发出技术先进，性能可靠的真空机械手系列化产品，打破了国外的技术封锁和垄断，填补了国内空白。
本公司研发的真空机械手主要技术指标如下：托盘负载为2.5kg，自由度数为3，R轴、T(θ)轴、Z轴的重复定位精度分别...
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