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DS-300管式全自动高效磷掺杂设备（扩散炉）

2012年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

全自动高效磷掺杂设备是一种半导体工艺设备，主要应用于半导体及太阳能电池行业，主要用于掺杂工艺。在晶体硅太阳能电池生产中，是对PN结的生成、转换效率的提高起决定性的设备。
本设备主要有计算机控制系统、推舟净化柜、加热炉柜、气源柜、废气柜组成。
计算机控制系统采用PLC+工业平板触控计算机进行单管单控，可有效控制现场阀门、流量、推舟、温度等控制变量。推舟...

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