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原子沉积纳米光栅计量溯源表征技术研究

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
利用新型的冷原子激光聚焦技术加工完成了冷原子沉积纳米结构的研制。
1.制备可溯源原子沉积光栅，高度范围（3～5）nm；
2.纳米测量机已集成角度粗调装置和电动精调装置，粗调精度为1.5，微调精度优于0.1；以1度变换角度研究了多角度扫描确定正交角度的最佳扫描方案，实现了线间隔正交扫描角度定位不确定度小于0.1，综合比较了重心法和傅里叶变换法对于不同线...
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