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活性炭吸附制高纯氢技术在尾气干法回收中的应用

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

该方法是将还原尾气纳入多晶硅闭路循环系统中，通过冷凝、吸收和脱吸，以及吸附等手段，可以将尾气中的主要成分的回收率提高到99﹪以上，回收得到高纯度的H2和HCl，可直接用于生产。SiHCl3和SiCl4经过精馏提纯后也可用于生产。
经低温氯硅烷洗涤净化后的尾气，经缓冲后进入由三个吸附塔组成的PSA+TSA提纯装置。尾气中的高沸点杂质组分（氯化氢及氯硅烷等）被吸附在吸附剂中...

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