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三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片，包括：本发明的光谱阶跃式集成滤光片通过改变间隔层中微区光学厚度的办法，采用三腔结构，结合真空镀膜技术和半导体离子束刻蚀工艺，实现多通道带通滤光片于同一基片的集成。该集成滤光片能广泛用于航空航天遥感仪器的多（高）光谱密集获取。本发明的多通道微型阶跃集成滤光片具有的优点是：通道光谱矩形度好，分光效率高；采用组合刻蚀的方法，成品率较传统的逐一集成的滤光片有很大...
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