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用于真空镀膜的水平方向公自转运动机构

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
在真空镀膜的过程中,需要保持被镀物体在水平方向的持续公、自转,以提高薄膜质量的稳定性。随着光学、光电子产业的迅速发展,加工的光学器件不仅仅局限于平面玻璃,还出现了很多不规则形状的元件,如圆环形,圆柱形等。现有的真空镀膜机夹具基本都只能做到平面玻璃在水平面上的公自转,无法实现柱形等立体元件的镀膜。这就要求平面公自转夹具加工能力从二维平面元件向三维立体元件扩展,以适应越来越多不规则形状元件的镀...
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