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磁过滤电弧镀与溅射组合镀膜装置的研究

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本项目将脉冲电弧离子镀、非平衡磁控溅射技术与离子束辅助蒸发沉积技术有机结合在一起，探索光学镀膜组合技术研究新途径，研制新型组合光学镀膜设备，用于镀制多种复合光学膜层、混合材料膜层，获得优化组合光学薄膜。项目组重点开展了组合沉积装置的兼容性研究，进行了性能测试与工艺实验研究。
项目组研制的OTID-01型光学薄膜组合沉积系统由真空系统、光学薄膜厚度控制系统、气体流量控制系...
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