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全自动石英晶体微调机

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
传统的微调方法是通过对晶体进行单面镀膜微调，即将晶片上裸露在外面的电极上再次镀一层膜，用来降低晶体的频率。然而该种方法已经不能满足对晶体性能的严格要求，尤其是频率（FL）、电阻（RR）、DLD这三个参数的要求，并且传统工艺生产出来的晶体经过老化后频率散差较大，不能保证频率的一致性。
本设备采用二级抽真空系统（分子泵），实现高真空，然后在高真空状态下采用高压放电使氩原子电...
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