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压电微马达及LIGA工艺

2009年 应用技术
  • 成果简介
首次提出了行波压电微马达广义瑞利波致动机理,首次提出粗糙类波假设,运用广义瑞利波和粗糙类波相结合的方法,建立了行波压电微马达的精确转速数学模型,首次提出广义赫兹理论,给出了行波压电微马达的数学模型。提出了纵弯式压电微马达驱动原理,建立了似弯式压电微马达运动学和动力学模型;建立了侧向驱动压电微马达运动学和动力学模型。研制出转子直径小于0.5mm的行波压电微马达,研制出转子直径小于0.5mm的...
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