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SP－8A溅射台

2010年

应用技术

成果简介

技术特点：
1.采用分子泵机组抽真空，真空度高，无油污染。
2. 具有三个靶座，可同时溅射两种金属，可形成多层复合膜或实现金属共溅射。
3. 片子可旋转，不仅可以提高均匀性，而且可以降低片子上的温度，特别适合于用剥离（lift-off）技术制备各种难腐蚀金属的亚微米图形（如Au、Pt、Ta、超导材料等）。
4....

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