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纳米晶/非晶硅薄膜太阳电池关键工艺及自主设备

2009年 应用技术
  • 成果简介
一、项目目标
国内现有的太阳能设备以及工艺基本依赖国外，生产成本居高不下，研发具有自主知识产权的薄膜太阳电池关键设备，形成一套可产业化的薄膜太阳电池成熟工艺，已成为薄膜太阳能电池发展的瓶颈。该项目拟对纳米晶/非晶硅薄膜太阳电池的工艺进一步优化，研发适合产业化的关键等离子辅助气相沉积设备（PECVD），形成稳定的较大尺寸的高效低成本薄膜太阳电池的集成工艺与自主设备。
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