首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

电荷反馈式压电陶瓷精密定位机构

2009年 应用技术
  • 成果简介
该项目主要研制和开发基于电荷反馈式压电陶瓷二维精密定位机构及其非线性控制技术。与传统的压电陶瓷二维精密定位机构相比，采用电荷反馈驱动电源，可极大地抑制压电陶瓷逆压电效应所故有的回滞现象。该精密定位机构的技术指标为：行程±30μm，分辨力±0.01μm，推力100N。压电陶瓷二维精密定位机构在超精密机械加工、半导体晶片光刻、光学仪器等精密工程和微机械技术领域，是不可或缺的关键设备之一。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统