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真空获得设备——干式罗茨真空泵组、无油双侧涡旋泵

2009年 应用技术
  • 成果简介
真空获得设备干式罗茨真空泵组
「主要用途」集成电路、太阳能电池等设备中的无油抽气系统；真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理；空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体；化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等。
「技术特点」无油，可获得清洁的真空环境；可抽除可凝性气体；直接启动、启动快、抽速大、高真空、寿命长、能耗低。
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