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光学零件离子束抛光系统与技术

2009年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　“光学零件离子束抛光系统与技术”是由国防科学技术大学机电工程与自动化学院研制的。该系统基于CCOS成型原理，利用聚焦离子源产生的离子束对工件表面的离子溅射效应修除光学零件面形误差。离子束抛光的非接触式的材料去除避免了抛光过程产生接触应力、镜面的亚表面损伤，消除了传统加工中的边缘效应和“研具”磨损问题。离子束抛光的原子量级的材料去除能力和离子源的高稳定性，使得光学零件的精度可提升到纳米乃至于亚纳...
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