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J51600/ZF型自动砂轮划片机

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
划片机是IC生产线上的关键设备之一，主要用于将已制成管芯的半导体集成电路硅片、砷化镓、磷化镓等晶片切割成单个集成电路或管芯的专用精密切割设备；并逐步扩展到玻璃、石英、陶瓷、蓝宝石等脆硬材料的切割、分离。为了我国微电子行业的发展，我们瞄准国际先进技术，自主设计开发了J51600/ZF型自动划片机。...
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