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涡旋干式真空泵

2009年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　涡旋干式真空泵的工作腔由两个型线共轭的涡旋盘相差π角度相啮合安装而成，因而彼此间在几条直线(在横截面上是几个点)上密封接触并形成相对称的几对月牙形封闭腔。当气体从外侧工作腔吸入并封闭在月牙腔内，随着转子涡旋盘平动，接触线（点）沿涡线方向往中心移动，月牙形腔容积逐渐变小，气体不断被压缩，最终从中心排气孔排走。
　　涡旋干式真空泵是一种真正意义上的清洁无油、高效率的真空获得设备，彻底解...
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