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高频LiNbO3/金刚石声表面波滤波器研究

2009年 软科学
  • 成果简介
制备适用高频声表面波(SAW)器件的金刚石膜,使其同时满足高的SAW传播速度和较低的传播损耗,在金刚石膜上,制备高C-轴取向的压电薄膜(如ZnO、LiNbO3),研究这种多层膜结构的SAW性能 ,进而利用微电子刻蚀工艺制备叉指换能器,在叉指电极宽度相同的条件下,制备中心频率高于普通SAW材料2~3倍的高频SAW滤波器。在此全过程中,要紧密地和一些基础研究相结合,如形成纳米级晶粒和sp3(金...
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