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模块化的激光直刻装置

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明可以在不需掩模的情况下直接在光和热阻薄膜材料表面形成纳米构造，具有加工周期短、灵活性高、适用范围广、模块化程度高、加工精度高、可扩展性强等特点。...
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