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用于GAN的生产型MOCVD设备和虚拟仿真系统

2004年

应用技术

成果简介

MOCVD是制备氮化镓发光二极管和激光器外延片关键设备，同时也是制备砷化镓、磷化铟等光电子材料和器件的主流方法。随着MOCVD逐步在半导体制造业中得到广泛应用，全世界每年需要MOCVD设备约200台。由于中国没有专门制备MOCVD设备厂家以及定型化产品，使中国在这一领域受制于国外，研制国产的MOCVD设备已是非常迫切。科研人员突破了衬底旋转、三层流气源输入、均匀加热装置等关键技术，开展了MOCVD...

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