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高温超导材料本征结制备技术

2004年 应用技术
  • 成果简介
该高温超导材料本征结的制备包括以下步骤：(1)手工剥离；(2)金属层保护；(3)固定；(4)光刻图形；(5)离子刻蚀；(6)绝缘保护；(7)超声清洗；(8)电极构造和连接。其特征是：在步骤(5)中，采用低能离子刻蚀；在步骤(8)中，在台式结构上构造两个顶电极。该制备技术的优点是：采用低能离子刻蚀，通过精确控制金属层厚度、刻蚀时间等参数，实现了对本征结结数目的初步控制，并进一步利用第二次离子刻蚀和采...
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