首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

采用形状记忆合金／硅双层驱动膜结构的微泵

2004年 应用技术
  • 成果简介
该微泵由NiTi形状记忆合金薄膜及Si薄膜构成的双层驱动膜、泵腔体、进水泵和出水阀等组成。该微泵采用在泵腔体材料Si上直接沉淀形状记忆合金NiTi薄膜，形成NiTi／Si可双向运动的驱动膜，并运用微细图形化技术对结构进行优化设计。该成果具有结构及制备工艺简单、输出流量大、驱动频率高、可控性强、功耗低、寿命长的特点。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统