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多频等离子体和离子束沉积多种微纳电子薄膜材料

2008年 基础理论
  • 成果简介
随着世界微电子制造工业向我国大陆地区的转移，对微电子材料与光电集成器件的研究在国内受到越来越广泛的重视。芯片集成度的不断提高使得微电子正向纳电子器件快速发展。微电子和光电子产业关系国家重大战略利益，我们需要尽快掌握相关的知识产权。但是，芯片的关键尺寸愈来愈小，工艺的复杂性和难度也随之增大，需要在一些关键技术及关键材料上取得突破，低介电常数介质材料的研究也就成了微电子工业重点攻关的项目之一。...
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