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用全息相干法进行集成电路线宽测量的理论研

2008年 应用技术
  • 成果简介
本课题为国家科学基金项目。在集成电路芯片内部，线的宽度直接影响着芯片的性能指标。因此 ，在芯片的生产制造流程的各个不同阶段都要随时进行监测，以确定线的宽度是否还在设计允许的范围之内。精确测量宽度在1μm以下的集成电路线宽的问题，成了一个急需解决的课题。该室提出通过检测零次衍射分量即DC分量线宽的方法。零次项的物理意义就是均匀分布在待测物富氏变换平面上的背景光，它正比于待测量的宽度。现已从理...
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