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可执行纳米运动数控实验装置的研制

2008年 应用技术
  • 成果简介
  本成果在国内首次研制出可执行运动分辨率达1nm的数控试验装置,全面开发研制了可执行纳米运动的数控试验装置并开展了1nm、0.56nm、0.28nm的进给研究,进行了环境条件控制稳定性研究、抗微振动运动部件开发、抗微摩擦高刚性传动结构开发、柔性减振结构的开发以及数控伺服技术的应用技术研究,主要包括:
  1.可执行纳米运动的数控试验装备的总体结构设计。
  2.超精密...
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