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改进铜铌溅射型QWR超导腔性能的探讨

2003年 应用技术
  • 成果简介
通过直流偏压二级溅射方法,在无氧铜腔体表面溅射一层铌膜,研制了铜铌溅射型射频超导1/4波长谐振腔(quarter wave resonator,QWR),该腔主要用于重离子的加速,是北京放射性核束装置中后加速部分的预研项目.目前国际上很多实验室都在研究进一步提高铜铌溅射型QWR超导腔的性能,通过多种方法的实验研究,发现在无氧铜衬底与铌膜之间加入一层氮化铌(NbN)薄膜,可以使得表面铌膜的超...
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