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非接触压电微马达理论及其集成化技术研究

2004年 应用技术
  • 成果简介
提出一种基于微机械技术的非接触压电微马达。其定、转子间是非接触的，避免了接触型压电微马达因接触而造成的磨损问题，具有转速高和使用寿命长等特点。分析在微尺度下非接触压电微马达的相关理论，并建立优化模型。将马达设计和微细加工工艺有效结合，以便于集成制造。为丰富和发展微马达理论，促进其实用化做出贡献。推导了圆盘结构下单组和多组压电陶瓷上激励出行波的条件。探讨了非接触压电驱动的机理。得出在定子产生...
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