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面向MEMS加工的精密定位技术的研究

2007年

应用技术

成果简介

　　该成果发展了一种由直线音圈电机直接驱动的2自由度笛卡尔坐标型用于IC芯片封装的高速高精度定位装置。其结构特点采用直线音圈电机直接驱动X、Y工作台，省去了传动环节，而且音圈电机具有无滞后、高响应、高速度及高加速度、控制方便等特点，有效地提高了该定位装置的性能。通过采用无间隙新型解耦结构，不仅使机构具有传统XY工作台运动学解耦的特点，而且可将驱动部件置于底座上，降低了机构的运动惯量。而且采用直线光...

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