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大直径GaSi／Si外延材料

2007年

应用技术

成果简介

　　项目介绍：SiGe技术广泛应用于射频通信前端，主要包括手机、无绳电话、蓝牙、无线局域网、光通信，以及电视调谐器等。此外，还可应用于卫星通信和微波通信等领域。
　　在该项目资助下，我们研制成功具有世界先进水平的GeSi材料UHV／CVE外延生长系统，深入地研究了大直径SiGe外延技术材料，开发出其有自主知识产权的、可批量生产的5～6英寸SiGe／Si材料外延生长工艺，并成功地开发出系...

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