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纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
　 一种采用纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法，其工艺步骤如下：
1、在压电基片上旋涂压印胶；
2、制备含有声表面波器件叉指图形和对准标记的压模并对其表面进行防粘连处理；
3、将压模压入压印胶中，通过加热、加压或紫外光辐照固化等压印方式得到叉指和对准标记的胶图形；
4、分离压模和基片；
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