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多元等离子体基深层离子注入和离子注入混合表面改性技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　等离子体基离子注入是近十年发展起来的高科技表面改性技术，此技术具有多种工作模式，包括单一等离子体基离子注入、真空气相沉积与离子注入同时进行的离子注入混合和高压脉冲增强气相沉积，以及注入与扩散相结合的深层注渗技术；可以根据工件服役条件选择不同的表面改性工艺，从而达到大幅度提高表面质量、提高使用寿命的效果；用于具有各种形状的金属、非金属、陶瓷和高分子材料制品，藉以获得与基材没有界面、结合力很好的，...
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