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一种具有反射式光学系统的亚波长光刻方法和系统

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明提供了一种具有反射式光学系统的亚波长光刻方法和系统，利用反射镜阵列汇聚光束，运用光束相干叠加技术，通过调整多相干光的参数（振幅、相位、偏振等）实现亚波长的光学聚焦，并利用聚焦光斑进行光刻。系统包括激光器、激光能量调节装置、光分束装置、反射式光学系统、图形发生器或掩模、涂有光敏材料的基底、三维工件台等。
　　本发明克服了当前光刻技术存在的低分辨率、高成本等不足，可用于微钠结构制...
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