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全自动晶圆背面打标机

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及一种IC晶圆打标的新设备，更准确地说，涉及用机械手将晶圆从上料箱中取出，再逐一送往晶圆方向检测装置、晶圆打标平台等装置，经过打标和检测后，由机械手取出放入下料箱的一种全自动晶圆背面打标机。该打标机由前、后两个区构成，其中前区上设置有电气控制装置和PC机，所述的前区与后区之间设置有隔板，隔板上设置有闸门进出口装置，前区的外侧设置有上料箱装置和下料箱装置，前区的内部设置有机械手和晶圆...
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