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GaN基材料生长的生产型MOCVD及产业化

2007年

应用技术

成果简介

　　GaNMOCVD（金属有机物化学气相淀积：Metal-organicChemicalVaporDeposition）设备，用于生长GaN基高质量异质结、量子阱、超晶格等多层薄膜，是制造蓝、绿光LED和激光器的关键设备。本项目充分消化和吸收进口设备的技术特点，自主创新，采用具有自主知识产权的立式喷淋式反应器，是目前最为先进的MOCVD设备之一。GaNMOCVD设备还广泛应用于光电子、微电子等其它...

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