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声控单振子双腔体压电泵的研制

2007年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
1、课题来源与背景
本项目来源于吉林省教育厅科技计划项目，项目名称：声控单振子双腔体压电泵的研制。合同编号：吉教科合字[2004]67号。微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)作为集微型机构、微型传感器、微型执行器及信号处理和控制电路于一体的装置，近年来取得了很大的进展。微型泵、阀及微量流体控制系统成为微流动系统研究的热点，新型微...
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