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M42150-1/UM型等离子体刻蚀机

2002年

应用技术

中期阶段

成果简介

　1、课题来源及背景
该设备是2000年根据用户上海太阳能科技发展有限公司的要求制造的。
　　　2、技术原理及性能指标
等离子体刻蚀机是采用高频辉光放电，使反应气体分子激活成活性粒子，如原子、离子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性生成物而被除去。
　　　其主要性能指标：
...

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21. TMJ型淘米机(TXJ型淘洗机)
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25. 1.2-0.8UM技术用环氧模塑料
26. 2.5Gb/s 0.35um CMOS数据判决电路
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30. 10Gb/s 0.25um CMOS1:4分接器
31. ZGK6型制股机,ZS12型成绳机
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35. 2.5Gb/s 0.5um CMOS 4:1复接器电路
36. 抗辐射低腐蚀隧道压电石英晶体及UM、SMD频率片
37. 2.5Gb/s 0.35um CMOS 4:1复接器电路
38. 熔体外延法生长的8-12um波段的InAsSb单晶
39. 熔体外延法生长的8-12um波段的InAsSb单晶
40. TF型粉碎机
41. WJ型铲运机
42. FJ型芳纶绞合机
43. CXQBV型清洗机
44. CY型炒药机
45. BG型高效包衣机
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59. LT型汽车升降机
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65. MNMLs型立式碾米机
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67. RG型热泵干燥机
68. ZKD型矿车整形机
69. JDG型食品冻干机
70. QT型自动牵引推拿机
71. 遥控型自动立木整枝机
72. SZ型双轴搅拌机
73. FXⅡ型双面封箱机
74. 高效(SHC型)分级机
75. BT-Ⅰ型播种机
76. HJ-Ⅰ型超声冲击机
77. FBPL型小麦剥皮机
78. FL型沸腾制粒机
79. LGJ型链式层干机
80. MK型液压顶举机
81. GL型格栅除污机
82. ZSQF型气浮处理机
83. ZQS6型漂洗机
84. HAUF型腹水浓缩机
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86. 陶瓷型芯压注机
87. DCF型多仓混棉机
88. 固型燃料成型机
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92. 改进型洗碗机
93. DGSX型液体灌装加塞机
94. 分级扩张型开卷机
95. THGG型高效干燥机
96. ND型农家多用机
97. 枕型袋装箱机
98. WZD型电动（柴）装运机
99. MUZL型饲料制粒机
100. SP型颚式破碎机

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