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微型机械制造基础理论及基础技术研究－微小型泵的基础技术研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　微流量系统作为微机电系统的一个重要方面，有传感、控制和分析等多种功能与应用，在生物、医疗、军事、工业控制和环保等领域有着广泛的应用前景。本项目开展了硅微机械加工和超精密加工研究，开展了微流量控制系统的集成化制作研究；研制了多种微阀、微小泵、微喷、微流量传感器、微流量分析仪器以及微量过流特性研究等。微泵的性能达到国际先进水平，热微制动的设计应用具有创新性；对不同形状的微喷管流动特性的进行了仿真计...
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