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高束流强度Hall离子源

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　Hall离子源是一种具有非常高离子束流强度的低能离子源，离子束流强度可以达到0.2～0.5mA/cm^2。离子能量分布大致为50～150eV。该种离子源广泛地用于各种离子束辅助薄膜淀积技术，例如各种光学薄膜、氧化物薄膜、氮化物薄膜、及其特种功能薄膜的电子束蒸发淀积。由于我们的特殊磁场分布设计和控制电源设计，使得该离子源可以工作于超高真空环境，具有非常高的离子束流强度。...
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