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以激光为基准的直线运动精度检测技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　成果综述：本产品经过多年研制，获得实验室成果，经中试后，可在工试中验证其正确性和稳定性。其利用激光的直线性作基准，克服了机械设备运动误差的影响，直接得到高精度，可以升到0.1μmm/100mm以上的高检测精度，可以广泛应用于需要检测直线运动的表面精度如块规，平面精度如平板、高精度磁盘、平晶以及运动部件精度如机床运动导轨等，其成果达到国际先进水平。其主要原材料激光器、四象限光电控制、压电晶体微位...
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