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微型硅桥式热对流加速度传感器

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　专利号：ZL02116842.3
　　本发明属于传感器技术领域，涉及一种微型硅桥式热对流加速度传感器。包括一密封腔体，在该腔体中心处的一加热丝，对称置于该加热丝两侧的两对温度传感器，以及由该两对温度传感器构成的桥式温度检测电路。在汽车、航空、船舶导航系统、民用产品及军事等领域中有广泛的应用。本发明采用热对流原理来检测加速度信息，没有质量块，可工作在高量程下，耐冲击；采用硅微加工方...
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